電渦流傳感器是一種基于電渦流效應(yīng)實現(xiàn)物理量測量的非接觸式傳感器，主要用于測量位移、振動、轉(zhuǎn)速、厚度等參數(shù)，廣泛應(yīng)用于電力、石油、化工、冶金、半導(dǎo)體制造等行業(yè)。以下是對電渦流傳感器的詳細(xì)介紹：

一、工作原理

電渦流傳感器基于法拉第電磁感應(yīng)原理，當(dāng)通有交變電流的線圈靠近金屬導(dǎo)體時，導(dǎo)體表面會產(chǎn)生感應(yīng)電流（即電渦流）。該電渦流產(chǎn)生的磁場反作用于原線圈，導(dǎo)致線圈的阻抗發(fā)生變化。通過檢測這一阻抗變化，可以測量出位移、振動等參數(shù)。具體來說，當(dāng)被測金屬導(dǎo)體與探頭之間的距離發(fā)生變化時，探頭中線圈的 Q值（品質(zhì)因數(shù)）也會發(fā)生變化，進(jìn)而引起振蕩電壓幅度的變化。這一變化經(jīng)過檢波、濾波、線性補(bǔ)償、放大歸一處理后，轉(zhuǎn)化為電壓或電流的變化，最終完成機(jī)械位移（間隙）到電壓（電流）的轉(zhuǎn)換。

CWY-DO-816002 電渦流傳感器介紹？ WVD

二、結(jié)構(gòu)組成

電渦流傳感器主要由探頭、延伸電纜和前置器三部分組成：

探頭：包含通有高頻交流電的線圈，用于產(chǎn)生交變磁場并感應(yīng)電渦流。

延伸電纜：通常采用同軸電纜，用于傳輸探頭產(chǎn)生的微弱信號。其內(nèi)部的屏蔽層能夠有效隔離外界電磁干擾，保證信號傳輸?shù)臏?zhǔn)確性和穩(wěn)定性。但需注意，電纜長度會影響傳感器性能，過長的電纜可能導(dǎo)致信號衰減和相位偏移。

前置器：是電渦流傳感器的信號處理單元，負(fù)責(zé)接收來自探頭的微弱信號，并對其進(jìn)行放大、濾波、解調(diào)等處理，將探頭線圈的阻抗變化轉(zhuǎn)換為與被測參數(shù)成正比的標(biāo)準(zhǔn)電壓或電流信號（如 4-20mA 電流信號或 0-10V 電壓信號），以便后續(xù)的顯示、記錄和控制。

三、特點與優(yōu)勢

非接觸測量：能夠在不與被測物體直接接觸的情況下實現(xiàn)實時、動態(tài)測量，有效避免了因接觸而產(chǎn)生的磨損、干擾等問題，提高了測量的準(zhǔn)確性和可靠性。

高精度與高可靠性：具有高線性度、高分辨力，測量精度受材料電磁特性影響，但可通過針對被測物校準(zhǔn)來確保準(zhǔn)確性。同時，其長期工作可靠性好，適用于惡劣環(huán)境。

寬測量范圍與快速響應(yīng)：測量范圍寬，靈敏度高，能夠快速響應(yīng)被測參數(shù)的變化。

抗干擾能力強(qiáng)：不受油污等介質(zhì)的影響，能夠在復(fù)雜工業(yè)環(huán)境中穩(wěn)定工作。

四、應(yīng)用領(lǐng)域

大型旋轉(zhuǎn)機(jī)械監(jiān)測：電渦流傳感器是大型旋轉(zhuǎn)機(jī)械狀態(tài)在線監(jiān)測與故障診斷的重要工具。例如，在汽輪機(jī)、水輪機(jī)、發(fā)電機(jī)等設(shè)備中，可用于監(jiān)測軸的徑向振動、軸向位移、轉(zhuǎn)速等參數(shù)，及時發(fā)現(xiàn)設(shè)備故障并預(yù)防事故發(fā)生。

半導(dǎo)體制造設(shè)備：在半導(dǎo)體制造過程中，電渦流傳感器可用于晶圓的精確定位、厚度測量以及設(shè)備振動監(jiān)測等環(huán)節(jié)，確保工藝的準(zhǔn)確性和一致性，提高產(chǎn)品質(zhì)量。

其他工業(yè)領(lǐng)域：電渦流傳感器還廣泛應(yīng)用于電力、石油、化工、冶金等行業(yè)，對鼓風(fēng)機(jī)、壓縮機(jī)、齒輪箱等設(shè)備的軸位移、軸振動、軸轉(zhuǎn)速等參數(shù)進(jìn)行在線測量和安全保護(hù)。

CWY-DO-816002 電渦流傳感器介紹？ WVD

五、局限性

對被測體材質(zhì)敏感：電渦流傳感器的測量精度與被測物體的電導(dǎo)率、磁導(dǎo)率等材料特性密切相關(guān)。不同材料的測量難度較大，需針對被測物進(jìn)行校準(zhǔn)。

有效量程較小：普通電渦流傳感器的有效量程一般為線圈直徑的一半，限制了其測量范圍。

電纜長度受限：探頭與放大器之間的電纜長度不能隨意變化，否則將大大降低傳感器的性能。